ЕКІ ЖЕРГЕ ТҰЙЫҚТАЛҒАН ЭКРАНЫ БАР ДЕФЛЕКТОРЛЫҚ ТАҚТАЛАРДЫҢ ШЕТКІ ӨРІСІ

Жарияланды 2024-07-09
ФИЗИКА-МАТЕМАТИКА Нөмір 61 № 3 (2020)
№3 (2020)
Авторлар:
  • И.Ф. СПИВАК-ЛАВРОВ
  • Д.Б. АЛИТУРЛИЕВА
  • С.У. ШАРИПОВ
PDF (Russian)

Дефлекторлы пластиналар - бұл электрондық шоқтарды басқару үшін қолданылатын екі параллель өткізгіш пластиналардан тұрады. Жерге тұйықталған екі экраны бар дефлекторлы пластиналардың екі өлшемді шеттік өрістері қарастырылады. Комплекс айнымалы функциялар теориясының көмегімен осындай жүйенің потенциалы үшін аналитикалық теңдеу алынды. Жерге тұйықталған экрандардың болуы пластиналардың шеткі аймақтарында шеттік өрісті оқшаулауға әкелетіні көрсетілген, олардың сипаттамалық өлшемдері пластиналар арасындағы
d қашықтық шамасындай. Потенциалдар үшін алынған өрнектер шеттік өрістерінің бір-біріне әсерін ескереді және пластиналардың ұзындығын d -мен салыстыруға болатын жазық конденсатордың қасиеттерін зерттеуге мүмкіндік береді. 

  1. M. Ogasawara, H. Sunaoshii, R. Yoshikawa, Development of a fast beamblanking system, Part of the SPIE Conference on Photomask and X-Ray Mask Technolociy V, Kawasaki. Japan 1998, pp. 79-85.
  2. E. Mulder, P. Kruit, Spot movement due to signal transients in multiple deflector blankers in electron beam lithography machines, Microelectron. Eng., 41 (1998) 159-162.
  3. V. Auzelyte, M. Elfman, P. Kristiansson, K. Malmqvist, L. Wallman, C. Nilsson, J. Pallon, A. Shariff, M. Wegdén, The beam blanking system for microlithography at Lund Nuclear Microprobe, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B, 219 (2004) 485-489.
  4. J.T.L. Thong, B. C. Breton, W. C. Nixon, High repetition rate electron beam chopping system for electron beam testing at microwave frequencies, J. Vac. Sci. Technol., B, 8 (1990) 2048.
  5. D. Winkler, R. Schmitt, M. Brunner, B. Lischke, Flexible picosecond probing of integrated circuits with chopped electron beams, IBM J. Res. Dev., 34 (1990) 189-203.
  6. D. Winkler, R. Schmitt, M. Brunner, B. Lischke, A phase-shift technique for high-speed ebeam testing with picosecond time resolution, Scanning, 11 (1989) 100-103.
  7. R.J. Moerland, I.G.C. Weppelman, M.W.H. Garming, P. Kruit, J.P. Hoogenboom, Timeresolved cathode luminescence microscopy with subnanosecond beam blanking for direct evaluation of the local density of states, Opt. Express, 24 (2016) 24760.
  8. I.G.C. Weppelman, R.J. Moerland, J.P. Hoogenboom, P. Kruit, Concept and design of a beam blanker with integrated photoconductive switch for ultrafast electron microscopy, Ultramicroscopy, 184 (2018) 8-17.
  9. W. Verhoeven, V.R. Jfm, E.R. Kieft, M. Pha, O.J. Luiten, High quality ultrafast transmission electron microscopy using resonant microwave cavities, Ultramicroscopy, 188 (2018) 85-89.
  10. S. Meuret, M. Sola Garcia, T. Coenen, E. Kieft, H. Zeijlemaker, M. Latzel, S. Christiansen, S.Y. Woo, Y.H. Ra, Z. Mi, A. Polman, Complementary cathodoluminescence lifetime imaging configurations in a scanning electron microscope, Ultramicroscopy, 197 (2019) 28-38.
  11. H. Wollnik, H. Ewald, The influence of magnetic and electric fringing fields on the trajectories of charged particles, Nuclear Instruments & Methods, 36 (1965) 93-104.
  12. H. Matsuda, H. Wollnik, Third order transfer matrices of the fringing field of an inhomogeneous magnet, Nuclear Instruments & Methods, 77 (1970) 283- 292.
  13. H. Matsuda, The influence of a toroidal electric fringing field on the trajectories of charged particles in a third order approximation, Nuclear Instruments & Methods, 77 (1971) 40-54.
  14. G.A. Doskeyev, O.A. Edenova, I.F. Spivak-Lavrov, Influence of the fringe field on moving of the charged particles in flat and cylindrical capacitors, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A, 645 (2011) 163-167.
  15. A. Baisanov, G.A. Doskeyev, T.G. Doskeyev, I.F. Spivak-Lavrov, The differential equations defining deflection of particles of ion beam from axial trajectory in electric and magnetic fields, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A, 645 (2011) 159-162.
  16. E.M. Metodiev, K.L. Huang, Y.K. Semertzidis, W.M. Morse, Fringe electric fields of flat and cylindrical deflectors in electrostatic charged particle storage rings, Phys.rev.st Accel.beams, 17 (2014).
  17. C.L. Souto, C.G. Carll, J. Wang, Fringe field effects on electrostatic deflection of electrons by a pair of charged plates, J. Electrostat., 94 (2018) 73-79.
  18. I.G.C. Weppelman, R.J. Moerland, L. Zhang, E. Kieft, P. Kruit, J.P. Hoogenboom, Pulse length, energy spread, and temporal evolution of electron pulses generated with an ultrafast beam blanker, Struct Dyn, 6 (2019) 024102.
  19. Spivak-Lavrov I.F. Analytical Methods for The Calculation and Simulation of New Schemes of Static and Time-of-Flight Mass Spectrometers // Advances in Imaging and Electron Physics. – Burlington: Academic Press, 2016. – V. 193. – Р. 45-128.
  20. Спивак-Лавров И.Ф., Жеткергенов Д.Б., Шарипов С.У. Краевое поле дефлекторных пластин с заземленными экранами // Вестник АРГУ. – № 4 (58), Актобе, 2019. – С. 27-36.
дефлекторлы пластиналар, жазық конденсатор, шеттік өрістер, электрондық шоқты басқару.