Дефлекторные пластины представляют собой две параллельные проводящие пластины, которые используются для управления электронными пучками. Рассмотрено двумерное краевое поля дефлекторных пластин с двумя заземленными экранами. С помощью методов теории функций комплексной переменной получено аналитическое выражение для потенциала такой системы. Показано, что наличие заземленных экранов приводит к локализации краевого поля в области краев пластин, характерные размеры которых порядка расстояния между пластинами d. Полученные выражения для потенциалов учитывают влияние краевых полей друг на друга и позволяют исследовать свойства плоского конденсатора, длина пластин которого сравнима с d.
- M. Ogasawara, H. Sunaoshii, R. Yoshikawa, Development of a fast beamblanking system, Part of the SPIE Conference on Photomask and X-Ray Mask Technolociy V, Kawasaki. Japan 1998, pp. 79-85.
- E. Mulder, P. Kruit, Spot movement due to signal transients in multiple deflector blankers in electron beam lithography machines, Microelectron. Eng., 41 (1998) 159-162.
- V. Auzelyte, M. Elfman, P. Kristiansson, K. Malmqvist, L. Wallman, C. Nilsson, J. Pallon, A. Shariff, M. Wegdén, The beam blanking system for microlithography at Lund Nuclear Microprobe, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B, 219 (2004) 485-489.
- J.T.L. Thong, B. C. Breton, W. C. Nixon, High repetition rate electron beam chopping system for electron beam testing at microwave frequencies, J. Vac. Sci. Technol., B, 8 (1990) 2048.
- D. Winkler, R. Schmitt, M. Brunner, B. Lischke, Flexible picosecond probing of integrated circuits with chopped electron beams, IBM J. Res. Dev., 34 (1990) 189-203.
- D. Winkler, R. Schmitt, M. Brunner, B. Lischke, A phase-shift technique for high-speed ebeam testing with picosecond time resolution, Scanning, 11 (1989) 100-103.
- R.J. Moerland, I.G.C. Weppelman, M.W.H. Garming, P. Kruit, J.P. Hoogenboom, Timeresolved cathode luminescence microscopy with subnanosecond beam blanking for direct evaluation of the local density of states, Opt. Express, 24 (2016) 24760.
- I.G.C. Weppelman, R.J. Moerland, J.P. Hoogenboom, P. Kruit, Concept and design of a beam blanker with integrated photoconductive switch for ultrafast electron microscopy, Ultramicroscopy, 184 (2018) 8-17.
- W. Verhoeven, V.R. Jfm, E.R. Kieft, M. Pha, O.J. Luiten, High quality ultrafast transmission electron microscopy using resonant microwave cavities, Ultramicroscopy, 188 (2018) 85-89.
- S. Meuret, M. Sola Garcia, T. Coenen, E. Kieft, H. Zeijlemaker, M. Latzel, S. Christiansen, S.Y. Woo, Y.H. Ra, Z. Mi, A. Polman, Complementary cathodoluminescence lifetime imaging configurations in a scanning electron microscope, Ultramicroscopy, 197 (2019) 28-38.
- H. Wollnik, H. Ewald, The influence of magnetic and electric fringing fields on the trajectories of charged particles, Nuclear Instruments & Methods, 36 (1965) 93-104.
- H. Matsuda, H. Wollnik, Third order transfer matrices of the fringing field of an inhomogeneous magnet, Nuclear Instruments & Methods, 77 (1970) 283- 292.
- H. Matsuda, The influence of a toroidal electric fringing field on the trajectories of charged particles in a third order approximation, Nuclear Instruments & Methods, 77 (1971) 40-54.
- G.A. Doskeyev, O.A. Edenova, I.F. Spivak-Lavrov, Influence of the fringe field on moving of the charged particles in flat and cylindrical capacitors, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A, 645 (2011) 163-167.
- A. Baisanov, G.A. Doskeyev, T.G. Doskeyev, I.F. Spivak-Lavrov, The differential equations defining deflection of particles of ion beam from axial trajectory in electric and magnetic fields, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A, 645 (2011) 159-162.
- E.M. Metodiev, K.L. Huang, Y.K. Semertzidis, W.M. Morse, Fringe electric fields of flat and cylindrical deflectors in electrostatic charged particle storage rings, Phys.rev.st Accel.beams, 17 (2014).
- C.L. Souto, C.G. Carll, J. Wang, Fringe field effects on electrostatic deflection of electrons by a pair of charged plates, J. Electrostat., 94 (2018) 73-79.
- I.G.C. Weppelman, R.J. Moerland, L. Zhang, E. Kieft, P. Kruit, J.P. Hoogenboom, Pulse length, energy spread, and temporal evolution of electron pulses generated with an ultrafast beam blanker, Struct Dyn, 6 (2019) 024102.
- Spivak-Lavrov I.F. Analytical Methods for The Calculation and Simulation of New Schemes of Static and Time-of-Flight Mass Spectrometers // Advances in Imaging and Electron Physics. – Burlington: Academic Press, 2016. – V. 193. – Р. 45-128.
- Спивак-Лавров И.Ф., Жеткергенов Д.Б., Шарипов С.У. Краевое поле дефлекторных пластин с заземленными экранами // Вестник АРГУ. – № 4 (58), Актобе, 2019. – С. 27-36.
дефлекторные пластины, плоский конденсатор, краевые поля, управление электронным пучком.
Как цитировать
КРАЕВОЕ ПОЛЕ ДЕФЛЕКТОРНЫХ ПЛАСТИН С ДВУМЯ ЗАЗЕМЛЕННЫМИ ЭКРАНАМИ. (2024). Научный журнал "Вестник Актюбинского регионального университета имени К. Жубанова", 61(3). https://vestnik.arsu.kz/index.php/hab/article/view/291